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Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik 18 Der Erzmagier Sheol will die

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Der Erzmagier Sheol will die Eierschalen der dreizehn Drachen stehlen

first proposed by CAVALIER-SMITH (1974) for eukaryotic DNA repli cation

findet anschließend eine Anwendung des Ansatzes auf drei [¿]

The parameters of these optimization problems (e

Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik 18 Der Erzmagier Sheol will dieDiplomarbeit aus dem Jahr 2004 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1,3, Technische Universitt Chemnitz (Fakultt fr Elektrotechnik und Informationstechnik, Zentrum fr Mikrotechnologien), Sprache: Deutsch, Abstract: Vor dem Hintergrund der in der Mikroelektronik Fertigung heute verbreiteten Kupfertechnologie werden in der vorliegenden Arbeit drei neuartige metallorganische Verbindungen, nmlich phosphitstabilisierte Kupfer(I) Trifluoracetat Komplexe

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